AD183KH manual - a-b-c-d 部分[1]

  阿尔卡特真空泵为减少粉尘在腔体内积累而采取以下设计： 减少线 吹扫减小各级工艺气体浓度 调节泵体温度，减少工艺气体在腔体内凝结

  阿尔卡特高真空技术有限公司作为阿尔卡特 集团的一部分，多年来一直为全球客户提供 真空泵，氦氢检漏仪，真空测量系统。 由于产品非常齐全，阿尔卡特高真空技术有 限公司在各个行业都成为了很重要的供应 商，这一些行业包括：仪器仪表，研发，一般 工业与半导体等。 阿尔卡特高真空技术使用 Adixen 这个新品牌 作为公司形象，在真空行业中占据其国际性 主体地位。 我们法国公司分别通过了 ISO 9001 和 ISO 14001 认证，提供专业的服务和支持，同时 Adixen 产品具备最高的质量并符合环境标 准。 阿尔卡特高真空技术有限公司拥有超过 45 年 的经验，如今已成为一家全球性公司，在全 球都拥有他的网络，包括在各地都有非常有 经验的全职子公司，经销商以及代理等。 阿尔卡特高真空技术有限公司首先是在 30 年 前在美国的 Hingham-MA 也建立了阿尔卡特 产品中心，如今已经在美国的 Fremont (CA) 和 Tempe (AZ)更增加了 2 个子公司。 在欧洲，阿尔卡特（法国）总部以及 3 个子 公司，阿尔卡特（德国） ，阿尔卡特技术（英 国） （位于苏格兰）再加上阿尔卡特系统（意 大利）共同构成了整个欧洲网络。 在亚洲， 我们在 1993 年成立了阿尔卡特真空 技术（日本）并在 1995 年设立了阿尔卡特真 空技术（韩国） 。随后，在 2001 年成立了阿 尔卡特真空技术（台湾） ，阿尔卡特真空技术 （新加坡） ，并于 2004 年成立了阿尔卡特高 真空技术（上海）- 中国公司。 如今，阿尔卡特在全球各个地区共有超过 40 个代表处。 因此，无论发生啥情况，阿尔卡特的用户 总是能获得我们的真空技术专家提供的最 快捷的支持！

  高压级 5 冷却板（捕集阱） 冷却水 高压级 5 的气体吹扫 动态密封 甩油盘 齿轮箱 挡板

  电机端的密封是通过电机设计的内置护套（完全密封）完成的。 电机端的密封是通过电机设计的内置护套（完全密封）完成的。 该系统能确保泵关于泄漏的安全性，并且不需要任何维护保养。

  低压端的密封性 真空泵低压端安装了用氟化脂润滑的球轴承。 而在轴承的周围通过用中性气体的吹扫从而形成一个正压区。 高压区和密封共同防止真空泵所抽气体向轴承端移动。 在腐蚀性的苛刻工艺的应用中，一定要选择中性气体吹扫。 高压端轴承用油润滑。整个齿轮箱和高压级 5#之间是通过捕集阱和挡板 共同密封的。

  马达保护功能 N2 吹扫监控 真空泵温度的监控 真空泵热状态监控（温度和水流量） 排气口压力监控 维护时间监控

  干泵类型 罗茨泵类型 最大抽速 m3/h Kl/mn 极限压力（25slm 氮气吹扫） mbar torr 极限压力（无氮气吹扫） 极限压力下的功率 供电电源（3 相） 最大连续排气口压力 建议排气口压力 氮气流量吹扫范围 冷却水流量 冷却水温度 油箱油量（A113） 环境和温度 进口尺寸 排口尺寸 噪音水平 尺寸（长×宽×高） 重量 dBA m kg slm l/mn ℃ l mbar torr mbar torr kW

  该控制交互界面可以使得真空泵在远程控制模式下只需一个信号 就可以实现泵组的开停机 产品手册上能够给大家提供一些安装连接附件（如：波纹管、阀门、 O 型圈等）

  系列 2 泵提供非常多沟通方式（RS232，RS485，干触点，手动遥 控器）。我们还增加了 2 种新的界面方式。在半导体行业最常用的 2 种总线为 Lonworks 和 DeviceNet。

  复制权/知识产权: Adixen 产品的使用所依据复制权和知识产权受相关法律保护。我们保留 所有的权利，如需复制本文件的全部或部分内容，请先联系阿尔卡特真 空法国申请授权。 当有参数或信息变更时，恕阿尔卡特真空法国不另行通知

  应用： 太阳能 在太阳能和 FPD 行业中应用于类似刻蚀或中等条件 CVD 这样的中等环境 工艺。 -配合合适的 2 系列产品可用于 transfer 腔的真空获得 -可用于最大达 10m3 腔体的真空获得（不能频繁循环抽气） 优点 高可靠性 -简单的安装 -低 CoO -适用于基于操作人员的生产环境 -延长了的使用周期，更小的卡死几率，更低的维护成本 特点 为中等工艺设计，也能适应有粉尘及腐蚀性气体（NF3 清洗）的环境 -较小的占地面积 -较低的能耗和较低的维护成本 -较低的噪音等级及匹配于 ADIXEN 网络和软件

  电控箱位于干泵的背 后，可以连接主电源， 并能给干泵和罗 茨泵马达供电。

  用于人机界面对话， 既可以连接在真空泵 的前面也可以连接在 背面。用于读取和设 置所有的参数。

  自动控制所有传感器、阀门 和前面控制面板和急停按钮连接 和手持遥控器以及监控系统来进行数据交换 M4 监控可以和主机台相连

  微处理器控制 手持遥控器可以显示真空泵的各种参数和状态 记忆最近 10 次报警和警告 RS232-RS485 网络连接

  尊敬的客户： 很谢谢您购买了 阿尔卡特的干泵， 我 们非常荣幸您能够 成们众多客户 中的一员。 该产品得益于阿尔 卡特多年以来在中 等难度工艺以及在 干泵上的经验。

  为了使泵发挥出最 好的性能及使您对 我们的设备完全满 意， 我们推荐您在使 用本公司产品前首 先学习本手册。 特别 是有关安装与启动 的相关章节。

  预示有潜在的危险，如果不避免的话，可能会造成轻度或中等 的伤害。该标志也用来警告不安全的状况。

  预示有潜在的危险，如果不避免的话，可能会造成死亡或严重 伤害（极其严重） 。

  Lonworks 界面用于连接干泵和每一台 Lam 2300 机台。这也意味 着每一台安装在 Lam 2300 机台上的干泵都应该订购该接口。它完 全取代了以前和我们的干泵连接的电路接口方式。 DeviceNet 用于 Applied Materials 或 Matrix 机台。若需要，该 接口能够给大家提供给相应 OEM。

  基于实践证明的三系列的干泵， 阿迪科森推出的大抽速干泵能够很好的满足 太阳能工艺的需求，如 a-Si 和 PECVD SiN，AD183KH 更是如此， 非常适合于大抽速的工艺。

  系统电源开关 电源接口（电控箱分别向三台罗茨泵和干泵供电） 指示灯（系统供电、运行、报警、警告以及延时指示，三台罗茨泵报 警指示，水流量报警指示） 10. 系统紧停按钮 11. 主电源线KH 干泵系统描述

  A1803H 是最新的三系列干泵， 由干泵 A203H 和罗茨泵 RSV2800 组成。 能处理苛刻工艺中的腐蚀性气体和粉尘，一般应用于半导体或者平板 显示行业。 这款泵在世界各地有非常大的安装量， 并且在一些苛刻的工艺上得到一 些 OEM 的认证，这使得我们对自己的产品完全有信心。 除了底部的 A1803H 大干泵，顶部还有三个 RSV2800 罗茨泵并联，三个 罗茨泵分别命名为 RSV1、RSV2 和 RSV3。