AD183KH manual abcd 部分[1]

  用户手册阿尔卡特高真空技术有限公司作为阿尔卡特集团的一部分,多年来一直为全球客户提供真空泵,氦氢检漏仪,真空测量系统。由于产品非常齐全,阿尔卡特高真空技术有限公司在各个行业都成为了很重要的供应商,这一些行业包括,仪器仪表,研发,普通工业与半导体等。

  阿尔卡特高真空技术使用Adixen这个新品牌作为公司形象,在真空行业中占据其国际性重要地位。

  我们法国公司分别通过了ISO9001和ISO14001认证,提供专业的服务和支持,同时Adixen产品具备最高的质量并符合环境标准。

  阿尔卡特高真空技术有限公司拥有超过45年的经验,如今已成为一家全球性公司,在全球都拥有他的网络,包括在各地都有非常有经验的全职子公司,经销商以及代理等。阿尔卡特高真空技术有限公司首先是在30年前在美国的Hingham-MA也建立了阿尔卡特产品中心,如今已经在美国的Fremont(CA)和Tempe(AZ)更增加了2个子公司。在欧洲,阿尔卡特,法国,总部以及3个子公司,阿尔卡特,德国,,阿尔卡特技术,英国,,位于苏格兰,再加上阿尔卡特系统,意大利,共同构成了整个欧洲网络。在亚洲,我们在1993年成立了阿尔卡特线年设立了阿尔卡特真空技术,韩国,。随后,在2001年成立了阿尔卡特真空技术,台湾,,阿尔卡特真空技术,新加坡,,并于2004年成立了阿尔卡特高真空技术,上海,-中国公司。

  因此,无论发生啥情况,阿尔卡特的用户总是能获得我们的真空技术专家提供的最快捷的支持,

  在太阳能和FPD行业中应用于类似刻蚀或中等条件CVD这样的中等环境工艺。

  为中等工艺设计,也能适应有粉尘及腐蚀性气体,NF3清洗,的环境-较小的占地面积

  复制权/知识产权:dixen产品的使用所依据复制权和知识产权受相关法律保护。我们保留有的权利,如需复制本文件的全部或部分内容,请先联系阿尔卡特真法国申请授权。有参数或信息变更时,恕阿尔卡特真空法国不另行通知版本,03-July2009

  预示有潜在的危险,如果不避免的话,可能会造成轻度或中等的伤害。该标志也用来警告不安全的状况。

  预示有潜在的危险,如果不避免的话,可能会造成死亡或严重害。预示有潜在的危险,如果不避免的话,可能会造成死亡或严重害,极其严重,。

  专门为减少阿尔卡特真空泵为减少粉尘在腔体内积累而采取以下设计,粉尘积累设计

  多级罗茨阿尔卡特线级罗茨设计。工作原理每级罗茨泵两转子相向而行,相互不接触。

  而在轴承的周围通过用中性气体的吹扫从而形成一个正压区。高压区和密封共同防止真空泵所抽气体向轴承端移动。在腐蚀性的苛刻工艺的应用中,一定要选择中性气体吹扫。

  高压端的密封性高压端轴承用油润滑。整个齿轮箱和高压级5#之间是通过捕集阱和挡板共同密封的。

  1.高压级5.冷却板,捕集阱,.冷却水.高压级5的气体吹扫.动态密封.甩油盘.齿轮箱.挡板

  电机端的密封性电机端的密封是通过电机设计的内置护套,完全密封,完成的。,轴封,

  停机时的密封性真空泵在排气管内配置了止回阀,可以有效的预防排气口外的气体向泵内的返流。线

  经过实践证明的基于实践证明的三系列的干泵,阿迪科森推出的大抽速干泵能够很好的满足技术太阳能工艺的需求,如a-Si和PECVDSiN,AD183KH更是如此,

  A1803H干泵 A1803H是最新的三系列干泵,由干泵A203H和罗茨泵RSV2800组成。能处理苛刻工艺中的腐蚀性气体和粉尘,一般应用于半导体或者平板显示行业。

  这款泵在世界各地有非常大的安装量,并且在一些苛刻的工艺上得到一些OEM的认证,这使得我们对自己的产品完全有信心。

  顶部大罗茨泵 除了底部的A1803H大干泵,顶部还有三个RSV2800罗茨泵并联,三个罗茨泵分别命名为RSV1 、 RSV2和RSV3。

  9. 指示灯,系统供电、运行、报警、警告以及延时指示,三台罗茨泵报警指示,水流量报警指示,

  手持遥控器用于人机界面对话,既可以连接在真空泵的前面也可以连接在背面。用于读取和设置所有的参数。

  手持遥控器 A1803H可以连接有两个手持遥控器,也可以再一次进行选择更长的通讯线

  开停机控制 该控制交互界面可以使得真空泵在远程控制模式下只需一个信号交互界面 就可以实现泵组的开停机

  安装连接附件 产品手册上能够给大家提供一些安装连接附件,如,波纹管、 阀门、O型圈等,

  Lonworks Lonworks界面用于连接干泵和每一台Lam 2300机台。这也意味,物料号– 着每一台安装在Lam 2300机台上的干泵都应该订购该接口。它完

  如果发现设备已经损坏,请立即通知物流公司以及生产厂商‐即阿尔卡特高真空技术,上海,有限公司,

  如果设备有可能被再次发运或长期储存,我们始终建议用户保留发货时的包装, 以便于再次利用。

  该183KH系统在发运时,是将总系统拆分成6个包装箱分开发运的,这6个包装箱分别为,

  考虑到罗茨泵,带机架,的重量,人力搬运将可造成肌肉损伤甚至于背部的重伤,有设备的搬运,都一定要采用合适的搬运设备。对于罗茨泵,请采用合适的叉车/1000kg,

  移去包装箱的顶板以及侧板,便于叉车的使,后使用叉车(1000kg)从左图所示位置将罗泵,带机架,从包装箱地板上移出,放置在面上,用罗茨泵,带机架,底部的滚轮,将泵推至需安装的位置,然后将四个支撑脚旋转放下于地上。

  罗茨泵已经加油,请确保正确的搬运和安装方法,防止罗茨机架倾斜甚至于倾倒,茨泵的进气口和排气口均有相应部件进行密封,在确定使泵之前请不要移去这些部件。

  考虑到干泵A1803H的重量,人力搬运将可能造肌肉损伤甚至于背部的重伤,有设备的搬运,都一定要采用合适的搬运设备。

  强烈建议使用行车和起吊环搬运干泵A1803H,且必须确保吊运时满足以下要求,‐ 每条臂的长度必须500mm

  将起吊环,随泵一起发运,在干泵A1803H包装箱内与泵分开包装,安装于干泵A1803H 上,使用行车以及3条臂将干泵从包装箱内移出放置于地面上。

  将包装箱内的配件包从包装箱内移出, 以便安装时使用,配件包中包含说明书, A113油, 电源接头,冷却水接头以及其他安装时所需的配件。

  干泵运输时并未加油, A113油是分开包装于干泵包装箱内,绝对不能未加油就起动干泵, ,了在运输时防止湿气进入泵内,干泵在发运前已经进行了2充注,干泵的进气口和排气口都有盲法兰进行密封,请确使用干泵前不要移去这些密封件。

  该设备可以在‐25℃至55℃之间的环境和温度下储存而不需要额外的注意事项。

  电控箱在发运前已经安装在底部的机架上,打开电控箱的包装后,只需要采用叉车从电控箱的底部,底部机架的上横梁下,将电控箱从包装箱内移出,放到所需安置的位置即可。

  序号 图片 具体描述 数量 AD183KH机架固定板上板+下板, 2套 AD183KH机架固定条 2根 线弯管,且带DN25法兰, O型圈及卡箍, 2套 电源线根 远程控制信号线根 EMO控制信号线 配件包含4个DN100中心环带型圈, 以及”P14”和”P1”个短接头, 1套 勾头螺钉包含8个DN100单勾头螺钉8个DN100双勾头螺钉+个DN160双勾头螺钉, 1套0 螺栓包含安装机架固定板/机架定条/线KH真空系统的安装

  泵的性能将取决于所连接的配件的种类以及机械连接的质量,例如法兰和接头等,

  考虑到安全因素,请确保在泵的进气口和排气口所使用的配件的材料和密封性能都与所抽气体的特性相适应。

  由于该泵典型用于有腐蚀性的工艺环境,泵的可靠性通常取决于正确的安装以及维护,

  在连接真空管路时,我们提议安装便于维护的附件,例如在进气管路上安装截止阀。

  注意 泵必须在水平面上安装并运行,并确保泵的进气口向。!警示 搬运时的危险,在设备的搬运、安装以及使用时,请意相应的危险,参考A40章节了解设备的重心位置。

  确定系统所需要放置的地点,若需要,请参考A40章节获得183 KH系统的尺寸。

  将RSV1, RSV2和RSV3 ,罗茨泵带机架,分别推到所需安装的位置,保持3台罗茨泵的前端正对你,并如下图排列,请确保,当你正对罗茨泵的前端时,从左到右分别是RSV1,RSV2和RSV3,

  罗茨泵的非电机端为前端,前端贴有”泵内有油”的标识,而罗茨泵的电机端为后端,后端贴有”RSV1”, ”RSV2”, ”RSV3”的标示,且后端有明显凸出的台阶,冷却水面板也在后端, ,详见下图,

  罗茨泵的前端贴有”内有油”的标识茨泵的后端有”RSV1”, ”RSV2””RSV3”的标识

  ‐ 装有“冷却水面板”的罗茨泵是”RSV3”,应前端正对你放置于系统最右边,排气口已经安装了DN160波纹管的罗茨泵是”RSV2”,应前端正对你放置于系统的中间,则最后那台是”RSV1”,应前端正对你放置于系统最左边。

  采用零件箱内的零件1–机架固定板,每套含1块上板+1块下板, 1套,通过4个螺丝和螺帽,零件10,将”RSV2”和”RSV3”的机架固定在一起, 固定后如下图,

  同理,用另1套机架固定板将”RSV2”和”RSV1”的机架再固定在一起。

  采用零件箱内的零件2–机架固定条1根,将3个罗茨泵机架后端凸出的台阶,通过12个螺丝和螺帽,零件10,固定在一起。

  注,线槽的作用是用于走电线,该线槽分上下两部分,上层用于走所有的信号线,而下层用于走所有的电源线个支撑脚旋转落于地面上。

  将电控箱,带机架,移至”RSV1”的左侧,罗茨泵的前端正对你, ,并确保电控箱的”P14”以及”P1”等接口一侧正对你。

  注意 用于183KH系统的A1803H干泵,进口均已经配置了通,主进口DN160,两侧进口为DN100, ,如下图所示,请在安装之前,确认所用A1803H干泵为正确的配置,

  由于A1803H在发运时未加油,建议在将A1803H安装到罗茨泵机架下面之前,先为干泵A1803H加油,加油具体事项,请参考B25章节, 。

  将A1803H干泵正面朝外,推到RSV2罗茨泵机架的下方,如上图所示, 。

  首先,用4个DN160双勾头螺钉,零件箱内的零件9,将A1803H的DN160主进气口与RSV2的排气口DN160波纹管连接起来,O型圈采用原先装在A1803H干泵进口的O型圈, ,

  然后,将1根DN100管道组,零件箱内的零件4,的两端,直管端连接A1803H,弯管端连接RSV排气口,分别和A1803H干泵侧进气口和RSV3排气口连接,连接时会用到零件箱中的2个DN100中心环+O型圈, 4个DN100双勾头螺钉和4个DN100单勾头螺钉, ,如下图所示,

  同理,将另1根DN100管道组的两头分别和A1803H干泵的另一个侧进气口和RSV1排气口连接,

  考虑到安全因素, 以上管道的连接时,连接所用的连件请采用随系统发运的零件,或咨询阿尔卡特高真,上海,有限公司选用符合安全标准的零件。

  主管道的连接建议如下图所示,请确保主管道和RSV1, RSV2以及RSV3连接处有波纹管,无柔性连接将可能会引起泄漏, ,

  183KH随系统发运的RSV1,RSV2以及RSV3机架上已经配备了安装主管道支撑架所需的支撑架固定板,可提供客户安装支撑架使用。

  此处的支撑架固定板已由尔卡特提供,可提供客户装其主管道支撑架使用,183KH的主管道和主管支撑架则由客户提供。

  !警示 完成183KH的管道连接后,需对罗茨泵与A1803H干之间的连接管道进行检漏,检漏的要求为,大漏率1E‐7mbar.l/s 注意 完成183KH的管道连接后,需将A1803H干泵的4个撑脚以及罗茨泵机架的12个支撑脚都放下落于地

  在电路连接前,先确认主开关处于关闭状态。请先阅读B00章节, 了解电路连接的基本注意事项。

  为了便于运输,电控箱与各台泵之间的电路连接在发运之前都已经断开,因此在现场将系统固定好之后,需要完成各台泵与电控箱之间的电路连接。

  注意( RSV1)RSV2和RSV3罗茨泵机架端的电路连接接头都在靠电机端,如下图所示,

  RSV3–罗茨泵电源接头RSV3, 电机温度开关MT3,水流量报警开关W1和W2。

  将3台罗茨泵的电源接头和电机温度开关接头RSV1(RSV2)RSV3(MT1)MT2,MT3分别和电控箱左侧面板上的相应RSV1(RSV2)RSV3(MT1)MT2,MT3接口连接。而将RSV3机架端的水流量报警开关接头W1,W2与电控箱右侧面板上的相应W1,W2接口连接。

  将A1803H电源线H Power”一端与A1803H干泵尾端的电源接口连接, ”P3”一端则与电控箱左侧面板上的P3接口连接。

  连接到电控箱右侧面板的信号线最后一段,可通过扎带固定在RSV1的机架上,如下图所示,