伯东公司日本原装规划制作离子蚀刻机 IBE. 供给微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满意一切材料的刻蚀, 即便对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能供给蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研讨, 干式制程的微细加工设备, 十分合适于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研讨, 干式制程的微细加工设备, 十分合适于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口合适小规模量产运用和实验室研讨的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部运用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 发生炮击离子; 结尾检出器选用 Pfeiffer 剩余质谱监测当时气体成分, 判别刻蚀状况.
Aston™ 特性 实时进程操控的通用东西, 反抗腐蚀才能气体, 抗冷凝 半导体制作的分子剖析原位渠道, 供给实时, 可操作的数据 选用等离子体电离源, 无灯丝, 更经用 可与大批量生产东西彻底集成 Aston™ 作为一个强壮的渠道, 能够替代多种传统东西, 供给史无前例的操控水平, 包含光刻, 电介质和导电蚀刻及堆积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 长处 1. 前级泵装备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 线/s 现在业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线. 集成 SD卡, 便利材料处理 6. 抗破大气, 抗轰动, 下降由操作失误带来的风险性 7. 丰厚的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路设备, 规范漏孔等 8. 检测时刻短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强壮的抽暇才能 2. 极短的测验时刻, 3. 大尺度五颜六色触摸屏, 无需任何东西即可彻底旋转和拆开 4. 契合人体工学规划, 移动性强 5. 经过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 悉数契合 Semi S2 规范 6. 可用于半导体相关职业和平板显示器职业及其他要求极高的使用
