1.真空泵温太高：被抽气体温度过高。应让气体冷却后再进入真空泵内，吸入硬物使真空泵体磨损。应拆开真空泵除掉硬物，对划伤部件做修正或替换，真空泵冷却水流最不行。应加大冷却水流量，安装不妥，使转子轴心位移，形成单面磨损。应拆开查看并重新安装。
2.真空泵油有问题：油位过低。应加足油量到油标中心线，油被沾污，油质变坏。应替换新油。油的商标不符。应换规则商标的真空泵油，油路不通，真空泵腔内没有坚持恰当的油量。应查看油路及油阀的进油量，坚持油路疏通。
3.真空泵自身漏气：密封圈漏气。应查看一切密封部位的密封状况，替换破损的密封圈，气镇阀垫圈损坏：或未拧紧。应替换垫圈并拧紧气镇阀；排气阀片损坏，密封欠好。应替换气阀片；真空泵中隔板压入时过盈量太大，形成真空泵腔变形而漏气。应修整真空泵腔或替换，因为真空泵的端面油密封不良形成漏气。应拆初步盖，查看是不是有杂物或不平坦，并进行整理洗刷或修补。
