真空干泵是一种用于抽取气体或液体的设备，在真空技术领域得到普遍应用。它通过旋转机械装置产生的离心力来实现气体或液体的抽取。具体而言，真空干泵利用旋转转子的离心力将气体或液体从进口处吸入，然后通过排气口将其排出，从而形成真空环境。
真空干泵通常由驱动装置、旋转装置和泵腔组成。驱动装置通常是电动机，用于提供能量驱动旋转装置的运动。旋转装置通常是旋转轴和叶轮，通过旋转的运动产生高速离心力。泵腔是真空干泵的主要工作部分，气体或液体在泵腔内受到离心力的作用被抽取出来。
干式螺杆真空泵是一种无油、无润滑剂的真空泵，它由一个主螺杆和一个从螺杆组成，通过它们的螺纹啮合实现气体的压缩和抽气。当主螺杆和从螺杆旋转时，气体被从进气端吸入，然后在螺纹间的压缩腔体内被压缩并排出到排气端。螺杆真空泵大范围的应用于需要高真空度和无油污染的领域。
干式罗茨真空泵是一种无油、无润滑剂的真空泵，它采用两个相互啮合的罗茨旋叶轮，在罗茨腔内产生压缩和抽气的作用。它通过旋转叶轮的运动，将气体从低压区域抽入罗茨腔，然后通过叶轮的运动将气体压缩，并排出到高压区域。罗茨真空泵因无需润滑剂而适用于高纯度、无污染的应用领域。
在半导体产品的制造工艺流程中，对真空系统的性能提出了极高要求，特别是需要有效清除包括腐蚀性气体、微细粉尘及有害化学气体在内的多种杂质。这一严苛标准超出了传统油封式机械泵的能力范畴，促使业界寻求更为先进的解决方案。正是在这样的背景下，干式真空泵技术应运而生，并且在20世纪80年代正式登上历史舞台。随着下游产业如集成电路制造、光伏领域、以及显示技术（ED）的蓬勃进展，干泵技术不仅种类日益丰富，其在抽速、清洁度、集成控制等方面亦实现了长足的进步与优化。时至今日，干式真空泵凭借其优越性能已成为发达国家半导体制造业不可或缺的装备，全面取代了旧有的油封泵系统。中国作为后起之秀，在半导体产业升级的推动下，也明显展现出向干泵转型的趋势，尤其在高端半导体制造环节，干式真空泵的应用已蔚然成风，标志着我国在这一关键技术领域的革新与国际接轨的步伐正在加快。
在该行业，主要参与者包括：Atlas Copco、荏原制作所、Pfeiffer Vacuum、Busch、上海汉钟精机股份和Agilent等，生产商高度集中。大多数生厂商全方位布局产品类型，生产多种类型产品，小部分小型厂商专注于某一或某两类产品。中国市场上，近年来产品需求由国外满足，但随着国内产品的技术创新与产能扩建，我们预测中国本土品牌将逐步扩大其市场份额。
据QYResearch调研团队最新报告“全球干式螺杆与罗茨线年全球干式螺杆与罗茨线亿美元，未来几年年复合增长率CAGR为8.0%。
根据QYResearch头部企业研究中心调研，G90全世界内干式螺杆与罗茨真空泵生产商最重要的包含Atlas、汉钟、通嘉等。2023年，全球前三大厂商占有大约40.0%的市场份额。
就产品类型而言，目前干式螺杆真空泵是最主要的细分产品，占据大约83%的份额。
真空干泵行业在技术上不断进行创新和改进，引入新材料、新设计和新制造工艺，实现了产品性能的提升。技术进步和创新推动行业不断向前发展，并满足了一直在变化的市场需求。
新能源、航空航天、生物医药等新兴行业的速度增长和不断涌现的创新需求，为真空干泵行业带来了新的市场机遇和发展空间。
全球化竞争加剧，国际市场对真空干泵的需求一直增长。全球制造业向低成本地区转移，新兴市场需求的崛起，以及国际贸易的发展，都对真空干泵行业的发展起到了推动作用。
真空干泵通常价格较高，尤其是高性能和特定应用的型号。这使得一些中小企业在采购时犹豫，尤其在预算有限的情况下。
真空干泵的工作原理和操作要求一定的专业相关知识，企业要对操作人员进行培训。这增加了使用成本和管理难度。
环保与能源节约趋势：随着环境问题的关注和能源成本的上升，真空干泵行业正朝着更环保和能源节约的方向发展。一些新型真空干泵采用高效节能的设计，通过优化内部流体动力学和控制管理系统，实现能源的最佳利用。
应用领域扩大趋势：真空干泵大范围的应用于许多行业和领域。除了传统的工业应用，如化工、制药、电子等，真空干泵还在新兴领域发展壮大，如新能源、光伏、航空航天和生物医药等。不断拓展的应用领域为真空干泵行业带来了新的机遇和挑战。
自动化和智能化趋势：随着自动化和智能化技术的广泛应用，真空干泵也在向智能化方向发展。智能化控制管理系统、远程监控和数据分析等技术的引入，提高了真空干泵的运行稳定性、安全性和可靠性，降低了人工操作的工作量。
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