将泵从体系上拆下，用洁净的方盘接在放油孔下，旋下注油塞和放油塞，放出污油,断续发动电机4～6次，使各真空小室内的油悉数排出。然后从各抽气管参加洁净的线CC，断续发动电动机，再次清洗各线次重复清洗，放光清洗用油,旋上放油塞，从注油塞处参加洁净的真空泵油到视窗孔的中心方位，旋紧注油塞不使漏气。
Pfeiffer HiPace系列是一系列紧凑但功能强大的涡轮泵，泵速规模为每秒10-2000升。这些类型具有本钱效益，可在任何方向灵敏装置。经验证的轴承体系供给了的可靠性，其杂乱的转子规划可完成更高的泵送速度、更高的支撑泵兼容性、更高的气体流量以及对轻气体的杰出紧缩。
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