可能是真空泵温度太高，比如被抽气体温度高，要等气体冷却再进入；吸入硬物导致泵体磨损，需拆开清理或更换部件；冷却水流不足，应加大流量；装置不当使转子轴心位移，要拆开重装。
也可能是真空泵油的问题，比如油位低要加足，油被污染或商标不符要换新油，油路不通要检查并保持畅通。
还可能是真空泵本身漏气，像密封圈、气镇阀垫圈、排气阀片等损坏或密封不好要更换，中隔板、端面油密封不良要修整或更换。
比如出现噪音、杂音、转动困难或卡死现象，可能是温度太高，参照前面温度过高的处理方法；弹簧变形或断裂要换弹簧；装置不当要重新安装；过滤网损坏要修复或更换并装好；腔内污染严重要清洗并换油；油变质要换新油；配合过紧要重新安装并调节油路；电机有故障要检修或给轴承加黄油。
可能是密封圈损坏或安装不正确，要检查更换且均匀用力安装；前后端面不平或端板未压紧导致端面漏油，要修平并压紧；进气口压强太高要设法减少进气量；箱体有漏孔要检查并堵死；油量过多要放出多余的油；挡油网装反要重装；突然暴露大气要立即关闭低真空阀。
原因可能是泵环境和温度高、进气温度高、进气冷却装置失效、泵长期连续运转入口压力高、水冷泵冷却水量不足、循环水设计效果差、温控水量调节阀失效等。
可能是已返油，用手扳动皮带轮旋转数周即可；长期不运转或停机后未放入大气使腔内充满油，扳动皮带轮可解决；油温太低，给油加温或让室内升温，也可用手扳动皮带轮再通电；油变质要换新油；电源缺相要检修电源。
此外，泵不转的情况，如果能盘动但不转，可能是联轴器、皮带、电机接线、电机、电源等问题；不能盘动或盘起来很重，可能是起动泵温低、泵油粘度高、设计制造原因的停泵返油多、油位高、有异物、叶片变形卡住等。
气蚀发生时会有连续冲击力，产生噪音和异常振动，要及时排出气体；离心泵发出震颤声音说明在抽空，要降低排气口流速或停泵；泵发出低沉声音可能是容量与实际流量不符，要增加进泵流量。
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