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爱德华真空泵在(半导体、平板显示器、发光二极管、太阳能电池制造)运用须知

时间: 2025-11-26 02:37:08 |   作者: 产品中心

  

爱德华真空泵在(半导体、平板显示器、发光二极管、太阳能电池制造)运用须知

  深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商,为客户24小时供给技能上的支撑及售后服务,针对各个职业工艺端规划供给合适的负压真空体系解决方案,为科研真空设备、科学仪器真空设备、实验室高真空设备、半导体真空设备、光伏真空设备、太阳能电池真空设备、锂电池真空设备、工厂高真空设备、电力真空设备、玻璃真空设备、冶金真空设备、制药真空设备、化学真空设备、校园高真空设备供给优化的真空解决方案。

  爱德华真空泵在(半导体、平板显示器、发光二极管、太阳能电池制造)运用须知

  Edwards爱德华真空泵是半导体、平板显示器、发光二极管和太阳能电池制造的完好过程中不可或缺的一部分。大范围的运用于工业,包含电力、玻璃和其他涂料运用、钢铁和其他冶金、制药和化学。爱德华真空泵适用于科学仪器和许多研制运用。

  下面TORRY小编来给我们介绍关于Edwards爱德华真空泵的运用须知,期望可以对我们有所协助~

  Edwards爱德华线、机器设备的运用规则:爱德华真空泵用以抽清洁汽体,但是留心不可以抽有害、易燃性、易燃易爆、腐蚀汽体或是蒸气、化工品有机溶剂及粉末状等。如可燃气体、含共同化工品要求成份的共同或浓度较高的强氧化剂气体、或半导体资料加工工艺中浓度较高的汽体、溶剂、结晶体汽体等,这种汽体十分简单使滚动轴承无效。

  2、溫度规则:进气口溫度有必要小于50°C,否则在被抽真空体系与泵进风口中心有必要加冷阱,减温至小于50°C。

  3、抽带有水蒸气的汽体时,要敞开气镇阀抽真空,被抽汽体水蒸气成分规则在23克/日下列。若是超出此極限,或许削减气镇阀运用寿命。

  5、不用由一两个人移动爱德华真空泵,此由技能专业工作人员运送、安裝装备、布线、实在的操作、保护保养和查验,否则会呈现触电事端、挂彩或是泵甚至被抽真空体系破坏的危险。

  6、不用再次运用早已破坏的泵,否则会呈现挂彩、触电事端甚至被抽体系软件破坏等危险。

  8、腺工作中全过程中或刚关机时不用触碰泵电动机或金属资料构件如确实有必要触碰,恰当选用保护措施防止挂彩。

  9、在进风口处装截止阀门,机械泵停止后进风口处真空值削减,因为出气口处的空气返至进风口处,并不是爱德华真空泵的原因。如要保证真空泵房间内的真空值,要在真空体系与泵中心安裝截止阀门。

  10、留心不用刮碰进风口与出气口法兰盘,以防破坏法兰盘口,形成真空值提不上。

  以上文字与图片未经赞同不得修正,转载请标明出处。(深圳市托理拆利机电设备有限公司)