检查一下舟是否接触到传感器 后再试一次。如果不行，调整传 感器。 将舟放到正确的位置即可。
通常是因为机械臂将石墨舟放 调节传感器或者调节舟的位置 到储存架上，储存架上的传感器
出现这种报警的原因是多面的： ①确认压力表指数正常。 高频放电失败、管内的压力不正 ②确认阀门有无故障。若阀门没 常或者由于某一些原因系统被锁 有问题联系外围 定（冷却水报警），都一定会出现这 ③确认流量计有无故障，若有进 样的报警，出现超过第一个限值 行更换。 报警，只是警告；超过第二个限 ④确认工艺过程中有无 HF 和冷 值报警出现后工艺会自动停止。 却水等故障
如果有工艺在运行，取消此次工 艺等待下次加载 假如没有此工艺要从 CCC 主机 内加载程序 炉管内状态不对，进行 Tube
继电器有必要进行更换和压力传 ②继电器 or 相对压力传感器 感器进行校正零点。
VAT 显示为 C***此现象为通讯 问题 VAT 显示为 E***此现象为硬件 问题，除 E40 为电机驱动和线路 问题外，其余均与机械有关
本设备基本功能是对硅片进行表面镀膜处理。主要由上料部分（LOADING）、炉管（furnace）部分、 气源(gas cabinet)部分、CMS 部分、高频电源、真空部分、人机交换与控制界面组成。设备为全自动处 理。
上料部分: 由小车（trolly），机械手（lift axle，grip），进给桨（SLS,EFM）,小车有新旧两种，依靠 液压缓冲器和调节螺杆调整小车的平稳、水平、平行。推进时气缸锁死。
炉管部分由炉门、炉身、炉尾构成。 炉门由通过 Bakeoff PLC 控制气动组成单元执行，炉门也为特气的进口，此处的三通很重要，起到 气流导向作用，也防止气路堵塞。气动单元要时常检查有没有行程和限位开关移动位。炉门口要时常清洁， 保障真空顺利抽下。前端的冷却水压力开关要保障正常。 炉身内部有 T-PADDLE 热电偶，测温点分为 5 个区。热电偶带有石英保护套管，此套管为易损件。 此套管作用为保证真空，也是保护五个点的温度稳定必要的。炉管外围也配有 5 个 T-SPIKE 测温点，加 热器也在炉管周身。管与管之间有水冷却板保证设备的整体外围温度安全。此处的加热测温区控制由 PWM 模块（A/D 模块）、TMM5、CMS 和 REG97 控制器构成闭环控制。 炉尾安装有电极、热电偶的进口、尾气排放口、观察窗。电极是高频电源输出放电终端。尾气排放 口联接蝶阀至真空泵。观察窗可以观察电极和桨的配合情况及内部工艺情况。 气源(gas cabinet)部分：气源 NH3、SIH4、N2、CDA.构成。设备的尾部顶端配有主气源气体调节压 力的面板单元，通过截止阀、调节阀、旁通阀、指针压力计能调节工作所承受的压力。每种气体每个炉管均有 单独的控制单元。 CMS 部分：提供集中报警管理及监控，设施安全监测系统。以下为监测部分 —水 — 冷却泄露 —加热系统保险丝 —加热区温度 —加热体温度 — 电源温度 — 加热变压器的温度 高频电源：为国产电源提供。其进电源经变压器供给。 真空部分：为阿尔卡特 ADS602H 真空泵、蝶阀单元、尾气排放检测单元。每个炉管均有压力和真 空检测单元，包括自动切断阀、相对压力传感器、绝对压力传感器。通过两种传感器的信号提供来控制 MFC 和蝶阀的开度来控制达到生产规格要求。 部分故障参考:
如果初始化不行可以冷启动即 可。 遇到 E40 能重新接插控制单 元。 其余对蝶阀进行拆开清理查找 原因。
②TGA free 信号经常报警且反 如坏来更换校正 馈的数值(经校正过后的反馈)差 没坏，做调整矫正。过程程序
检查舟在桨上的位置，如果正确 手动将桨复位； 如果不正确，戴上高温手套把舟
①T-paddle 热电偶 保护套管损坏。 ②电极保护套管损坏。 ③炉管后面的观察窗破裂。 ④前炉门口端盖处不洁净。 ⑤蝶阀后到泵体的软连接处松 动。 ⑥真空泵问题
更换保护套管 更换保护套管 更换观察窗 开门进行清洁 检漏查找，紧固 检查泵体，维修
检查桨是否在上位和原点的位 置，如果是的，在空桨的情况下 运行 homing 工艺；若不是， 手动移动桨到上位和原点。
束----警报确认----（1）储存（2） 选择。 储存并卸下（3）重新开始工艺。 (2)多数情况下选择此项。；
6 GRIP 部分出现的传动 ②舟装载时传感器信号错误导 消除报警，接着进行机械调整。
